山东博华电子科技发展有限公司位于山东省淄博市国家级高新技术产业开发区MEMS产业园内,是淄博国家高新区与清华大学共建项目,淄博市新旧动能转换标杆企业,公司建成了6/4英寸、半自动标准中试代工平台,6英寸硅基MEMS中试代工线,现已具备MEMS陀螺、加速度计、继电器/开关三类器件的标准中试代工能力。主要加工产品有继电器、陀螺、加速度计等,其中MEMS继电器的加工采用了基于绝缘体上硅阳极键合技术,得到的MEMS继电器测试参数:陀螺结构、加速度计结构均采用了硅与玻璃阳极键合技术,深硅刻蚀技术实现关键尺寸:小于3μm,结构主体厚度80μm的梳齿结构,均处国内领先水平。2020年公司入选华为供应商名录。
公司拥有山东省院士工作站、清华大学微米纳米技术研究中心MEMS中心、智能微系统教育部重点实验室MEMS分实验室,与清华大学共建工程硕士班。